AJA Target Change Schedule

Each chamber may only accommodate 4 deposition materials at once.

A target change schedule is in place to address the diverse deposition needs of lab members in an equitable and transparent manner.

NOTES:

  1. Target positions P1 & P2 in each chamber will generally remain fixed.
  2. Target positions P3 and/or P4 in each chamber will be changed out on a week-by-week basis as a function of target change requests received in any given week.
  3. Equipment users authorized to independently operate the AJA-sputter system may submit a target change request via the TARGET CHANGE REQUEST FORM (login required).
  4. Target change requests for any given week must be received no later than 12-noon on the preceding Thursday.
  5. Requests will be processed on a first-come first-served basis.
  6. Requested targets will be installed by 4PM on the Friday after the Thursday 12-noon request deadline.
  7. Target materials available:
    • Chamber 1 (conductors): Al, Al 1%Si, Cr, Fe, ITO, Nb, Ni, Ti, W, Au,  Xuser
    • Chamber 2 (insulators): Al2O3, MgO, SiO2, TiO2, AZO (2% Al), ITO, Xuser
  8. Requested targets will remain in place:
    • for 1 week, until 12-noon of the following Friday after the target's initial installation.
    • The target(s) may be permitted to remain in place for longer if no new requests are received in subsequent week.s
    • User-owned targets are identified as "Xuser" in the table.

Chamber 1 - conductors
Chamber 2 - insulators
PERIOD
P1 P2 P3 P4
P1
P2
P3
P4
Install June 16 Al Ti Au Nb ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install June 23 Al Cu Au Nb ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install June 30 Al Ti Ag Nb ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install July 7 Al Ti Ag Nb ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install July 14 Al Ti Ag Nb ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install July 21 Al Ti Au Nb ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install July 28 Al Cu Au Nb ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install Aug 4 Al Ti Au Nb ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install Aug 11 Al Ti Au W ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install Aug 18 Al Ti Au Nb ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install Aug 25 Al Ti Au Nb ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install Sept 1 Al Ti Au Cr ITO SiO2 TiO2 Si
Install Sept 8 Al Ti Au Cr ITO SiO2 TiO2 Si
Install Sept 15 Al Ti Au Cr ITO SiO2 TiO2 Al2O3
Install Sept 22 Al Ti Au Cr TiSi2 SiO2 SiNi Si
Install Sept 29 Al Ti Au Fe TiSi2 SiO2 TiO2 Si
Install Oct 6 Al Ti Au Fe TiSi2 SiO2 TiO2 Al2O3
Install Oct 13 Al Ti Au Fe TiSi2 SiO2 TiO2 Al2O3
Install Oct 20 Al Ti Au Fe TiSi2 SiO2 TiO2 Al2O3
Install Oct 26 Al Ti Au Fe TiSi2 SiO2 TiO2 Al2O3
Install Nov 3 Al Ti Au Fe TiSi2 ITO TiO2 Al2O3
Install Nov 10 Al Ti Au Cr TiSi2 ITO TiO2 Si
install Nov 17 Al Ti Au Cr TiSi2 ITO Si Al2O3
Install Nov 24 Al Ti Ag Cr TiO2 ITO Si Al2O3
Install Dec 1 Al Ag Au Cr TiO2 SiO2 Si Al2O3
Install Dec 8 Al Ag Au Cr TiO2 SiO2 Si Al2O3
Install Dec 15 Al Ag Au Fe TiO2 SiO2 NiSi Al2O3
Install Dec 22 Al Ag Au Fe TiO2 SiO2 NiSi Al2O3
Install Jan 5 Al Ag Au Fe TiO2 SiO2 NiSi Al2O3
Install Jan 12 Al Ag Au Fe TiO2 SiO2 Si Al2O3
Install Jan 19 Al Ag Au Cr TIO2 SiO2 SI ITO
Install Jan 26 Al Ag Au Cr TiO2 SiO2 Si ITO
Install Feb 2 Al Ti Au Cr TiO2 SiO2 Si ITO
Install Feb 9 Al Ti Au Cr TiO2 SiO2 Al2O3 ITO
Install Feb 16 Al Ti Au Cr TiO2 SiO2 Al2O3 ITO
Install Feb 23 Al Nb Au Cr TiO2 SiO2 Si NiSi
Install Mar 1 Al Ag Au Cr TiO2 SiO2 Si NiSi
Install Mar 8 Fe Nb
Install Mar 15 Nb